超精密减压阀RS系列
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压力控制方式是因为采用滚动膜片与计量膜合的伺服平衡方式，可以实现无尘室对应的精密的压力调整的超精密减压阀。
- 无尘规格
- 因为部品是不锈钢及氟橡胶，其他的部品全部为非电解镀镍处理，产生的杂质非常少。
- 歧管安装对应
- 歧管连接配管可能。
- 排气口装备
- 因为排气孔，溢流孔，可以连接排气用配管；排气空气及溢流空气都可以排到无尘室以外。
- 高精度
- 可以实现感度0.1%F.S.,反复再现性±0.1%F.S.的高精度控制。
缓冲装置
平衡装置
推压控制(1)
推压控制(2)
接合装置
张力控制装置
| ? | RS-4 | RS-8 |
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| 使用流体 | 清洁压缩空气 |
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| 压力设定范围 (MPa) | 0.014～0.42 | 0.014～0.84 |
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| 进口压力设定范围 (MPa) | 1. Max. |
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| 排气的有无 | 有 |
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| 反复再现性 (％.F.S) | ±0.1以内 |
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| 感度 (％.F.S) | 0.1以内 |
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| 空气消费量 (Nl/min) | 3.7以内 |
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| 使用温度范围 (℃) | 5～60 |
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| 配管连接口径 | Rc 1/4、歧管型 |
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| 压力表连接口径 (Rc(PT)) | 1/4 |
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| 支架 | 标准配置(歧管型以外) |
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| 质量 (kg) | 0.41 |
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