| 品牌：FUJIKURA日本藤仓 | 型号：超精密减压阀RS | 种类：低摩擦气缸 |
| 缸径：1-100mm | 气缸数：3 | 理论作用力：15N |
| 最大负荷：10N | 最大力距：5Nm | 重量：0.5kg |
| 规格：支 |
超精密减压阀RS系列 藤仓超精密减压阀RS系列,藤仓RS精密减压阀
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超精密减压阀RS系列
无尘室对应
超精密减压阀RS系列
? 调压阀(减压阀)阅览
压力控制方式是因为采用滚动膜片与计量膜合的伺服平衡方式，可以实现无尘室对应的精密的压力调整的超精密减压阀。
无尘规格
歧管连接配管可能。
排气口装备
可以实现感度0.1%F.S.,反复再现性±0.1%F.S.的高精度控制。
缓冲装置
平衡装置
推压控制(1)
推压控制(2)
接合装置
张力控制装置
高精度
因为排气孔，溢流孔，可以连接排气用配管；排气空气及溢流空气都可以排到无尘室以外。
歧管安装对应
因为部品是不锈钢及氟橡胶，其他的部品全部为非电解镀镍处理，产生的杂质非常少。
| RS-4 | RS-8 | |
| 使用流体 | 清洁压缩空气 | |
| 压力设定范围 (MPa) | 0.014～0.42 | 0.014～0.84 |
| 进口压力设定范围 (MPa) | 1. Max. | |
| 排气的有无 | 有 | |
| 反复再现性 (％.F.S) | ±0.1以内 | |
| 感度 (％.F.S) | 0.1以内 | |
| 空气消费量 (Nl/min) | 3.7以内 | |
| 使用温度范围 (℃) | 5～60 | |
| 配管连接口径 | Rc 1/4、歧管型 | |
| 压力表连接口径 (Rc(PT)) | 1/4 | |
| 支架 | 标准配置(歧管型以外) | |
| 质量 (kg) | 0.41 | |
